[实用新型]一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统

摘要

本实用新型提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给适量浓度的臭氧和空气混合气体；离线氧化腔体，所述离线氧化腔体为封闭容器，与所述臭氧供给系统相连；所述离线氧化腔体用于承载从生产线取下的硅片，通入臭氧后待反应完成，再将带有二氧化硅膜的硅片放至氮化硅膜生产线。通过增加二氧化硅钝化膜，可以有效减少电位诱导衰减，相比在线生成二氧化硅膜，离线氧化腔体可以使覆膜和其他生产线在不同地点分开进行，而不限于在同一生产线即时完成覆膜，且单次覆膜量较大，每个离线氧化腔体可放置400片硅片，每小时可完成氧化覆膜4000片。

主权项

1.一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，包括：臭氧供给系统，用于供给设定臭氧浓度的臭氧混合气体；离线氧化腔体(1)，为与所述臭氧供给系统相连的封闭容器；所述离线氧化腔体(1)用于承载从生产线取下的硅片，所述硅片在所述离线氧化腔体内反应形成二氧化硅膜。