[实用新型]硅片自动显影机有效
| 申请号： | 201821609322.6 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN208888582U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 刘红双 | 申请（专利权）人： | 襄阳赛普尔电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 441000 湖北省襄*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片自动显影机，包括电机机架、支撑底座、门型支架和花篮，所述门型支架位于汽油池的正上方；所述电机机架上安装有电机和减速机，所述电机和减速机传动连接，所述减速机的输出轴上设有水平布置的偏心盘；所述支撑底座上设有偏摆架，所述偏摆架的下端与支撑底座通过转轴或者铰链连接；所述门型支架上端设有滑轮，所述花篮位于汽油池内，所述花篮上设有提拉绳索，所述绳索的另一端绕过滑轮与偏摆架的上端固定连接；所述偏心盘与偏摆架之间通过连接杆连接，所述连接杆的两端分别与偏心盘和偏摆架中部活动连接。该显影机采用机械代替人工对硅片进行显影操作，节省了人力，提高了显影效率及均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 偏摆架 门型支架 支撑底座 偏心盘 硅片 电机和减速机 自动显影机 花篮 电机机架 汽油池 滑轮 绳索 本实用新型 连接杆连接 传动连接 活动连接 铰链连接 上端固定 水平布置 显影效率 上端 减速机 均匀性 连接杆 输出轴 显影机 绕过 提拉 下端 显影 转轴 | ||
【主权项】：
1.一种硅片自动显影机，其特征在于：包括电机机架(3)、支撑底座(4)、门型支架(5)和花篮(2)，所述支撑底座(4)位于电机机架(3)和门型支架(5)之间，所述门型支架(5)位于汽油池(1)的正上方；所述电机机架(3)上安装有电机(7)和减速机(11)，所述电机(7)和减速机(11)传动连接，所述减速机(11)的输出轴上设有水平布置的偏心盘(8)；所述支撑底座(4)上设有偏摆架(9)，所述偏摆架(9)的下端与支撑底座(4)通过转轴或者铰链连接；所述门型支架(5)上端设有滑轮(13)，所述花篮(2)位于汽油池(1)内，所述花篮(2)上设有提拉绳索(10)，所述绳索(10)的另一端绕过滑轮(13)与偏摆架(9)的上端固定连接；所述偏心盘(8)与偏摆架(9)之间通过连接杆(12)连接，所述连接杆(12)的两端分别与偏心盘(8)和偏摆架(9)中部活动连接。
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