[实用新型]磁控溅射镀膜设备中用于抑制平面阴极打弧的组件有效
| 申请号： | 201821610257.9 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208829758U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张青涛;饶杰奎;吴壮 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;都春燕 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜设备中用于抑制平面阴极打弧的组件，所述平面阴极包括阴极盖板、阴极体以及嵌设于所述阴极体内的平面靶材，所述阴极体位于所述阴极盖板和待镀膜玻璃之间，所述平面靶材正对所述待镀膜玻璃，所述阴极盖板和电源的正极相连，所述阴极体和所述电源的负极相连，所述阴极盖板和所述阴极体之间形成电位差，用于抑制所述平面阴极打弧的组件包括电容组，所述电容组的一端与所述电源正极和所述阴极盖板分别相连，所述电容组的另一端与所述电源负极和所述阴极体分别相连，本实用新型利用电容的储能特性来补偿电压的瞬间向下波动，对靶位损耗的电能进行补偿，进而抑制电压的下降，避免出现打弧现象，提高玻璃产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极盖板 阴极体 平面阴极 打弧 电容组 磁控溅射镀膜设备 本实用新型 镀膜玻璃 平面靶材 电源 电位差 阴极 正极 负极 玻璃产品 补偿电压 储能特性 电源负极 电源正极 组件包括 电容 对靶 嵌设 正对 体内 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射镀膜设备中用于抑制平面阴极打弧的组件，其中，所述平面阴极包括阴极盖板、阴极体以及嵌设于所述阴极体内的平面靶材，所述阴极体位于所述阴极盖板和待镀膜玻璃之间，所述平面靶材正对所述待镀膜玻璃，所述阴极盖板位于所述阴极体的正上方且所述阴极盖板和所述阴极体之间通过绝缘柱相分隔开，所述阴极盖板和电源的正极相连，所述阴极体和所述电源的负极相连，所述阴极盖板和所述阴极体之间形成电位差，其特征在于：用于抑制所述平面阴极打弧的组件包括电容组，所述电容组的一端与所述电源正极和所述阴极盖板分别相连，所述电容组的另一端与所述电源负极和所述阴极体分别相连，所述电容组包括相互并联的多个电容。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司，未经吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821610257.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：汽车轮毂镀膜设备
- 下一篇：一种化学气相沉积装置及其喷头
- 同类专利
- 专利分类
