[实用新型]一种具有运动限制机构的微镜装置有效
| 申请号： | 201821613376.X | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208921969U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海芯惠科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有运动限制机构的微镜装置，包括依次设置的器件层、绝缘层和衬底层，器件层包括悬置结构、第一锚固结构和第二锚固结构，第一锚固结构和第二锚固结构间隔且相对设置，悬置结构位于第一锚固结构和第二锚固结构之间，悬置结构包括第一扭转轴，悬置结构通过第一扭转轴分别与第一锚固结构和第二锚固结构相连；悬置结构还包括第一悬臂组件，第一悬臂组件包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，第一悬臂梁和第一锚固结构对应形成有第一运动限制机构，第二悬臂梁和第二锚固结构对应形成有第二运动限制机构。本实用新型微镜装置通过设置运动限制机构能够限制悬置结构偏离预定轨迹的最大偏移量，防止器件失效，从而大幅提高器件的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 锚固结构 悬置结构 运动限制机构 悬臂梁 微镜装置 本实用新型 悬臂组件 扭转轴 器件层 绝缘层 最大偏移量 器件失效 设置运动 限制机构 相对设置 依次设置 预定轨迹 衬底层 偏离 | ||
【主权项】：
1.一种具有运动限制机构的微镜装置，包括依次设置的器件层、绝缘层和衬底层，其特征在于，所述器件层包括悬置结构、第一锚固结构和第二锚固结构，所述第一锚固结构和所述第二锚固结构间隔且相对设置，所述悬置结构位于所述第一锚固结构和所述第二锚固结构之间，所述悬置结构包括第一扭转轴，所述悬置结构通过所述第一扭转轴分别与所述第一锚固结构和所述第二锚固结构相连；所述悬置结构还包括第一悬臂组件，所述第一悬臂组件包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，所述第一悬臂梁、所述第一扭转轴和所述第二悬臂梁依次间隔设置；所述第一悬臂梁的自由端设有第一撞击部，所述第一锚固结构包括第一止挡部，所述第一止挡部相对设置于所述第一撞击部远离所述第一扭转轴的一侧，所述第一撞击部和所述第一止挡部对应构成第一运动限制机构；所述第二悬臂梁的自由端设有第二撞击部，所述第一锚固结构还包括第二止挡部，所述第二止挡部相对设置于所述第二撞击部远离所述第一扭转轴的一侧，所述第二撞击部和所述第二止挡部对应构成第二运动限制机构。
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