[实用新型]原子层沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种原子层沉积装置，包括安装台、双层加热腔室和气体过滤装置，安装台上滑动设置有双层门体组件，双层门体组件和双层腔室配合，气体过滤装置连通双层加热腔室。双层门体组件包括第一门板和第二门板，第二门板位于内侧面一侧且和第一门板间隔形成安装空间，位于安装空间内的内侧面上设置有加热板，连接杆活动穿设第一门板连接第二门板，调节板滑动设置在导杆上，驱动气缸连接调节板。双层加热腔室包括第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体的内壁间隔设置，第一腔体内铺设有加热管，加热管包围第二腔体部分。本案中的原子层沉积装置能实现硅片热加工以及加工后气体的过滤，全自动完成且一体化程度高。

主权项

1.一种原子层沉积装置，其特征在于，包括安装台、双层加热腔室和气体过滤装置，所述安装台上滑动设置有双层门体组件，所述双层门体组件和所述双层加热腔室配合，所述气体过滤装置连通所述双层加热腔室，所述双层门体组件包括第一门板和第二门板，所述第一门板包括内侧面和外侧面，所述第二门板位于所述内侧面一侧且和所述第一门板间隔形成安装空间，所述第二门板在所述内侧面所在平面上的正投影位于所述内侧面上，位于所述安装空间内的所述内侧面上设置有加热板，连接杆活动穿设所述第一门板连接所述第二门板，所述外侧面上设置有导杆，调节板滑动设置在所述导杆上，所述连接杆连接所述调节板，所述调节板和所述外侧面之间设置有驱动气缸，所述驱动气缸连接所述调节板；所述双层加热腔室包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内至少固定容置有1个所述第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体的内壁间隔设置，所述第一腔体内铺设有加热管，所述加热管包围所述第二腔体部分。