[实用新型]单晶炉石英坩埚的升降装置

摘要

本实用新型公开了单晶炉石英坩埚的升降装置，它包括单晶炉（1）和石英坩埚（2），所述单晶炉（1）的底部开设有导向孔，单晶炉（1）的下方设置有油缸（3），油缸（3）的活塞杆（16）向上贯穿导向孔且延伸于单晶炉（1）内，活塞杆（16）的顶部固设有平台（4），平台（4）的顶表面上且位于其左右侧分别固设有铰链座（5）和垫块（6），平台（4）的上方设置有坩埚托盘（15），坩埚托盘（15）的左端部铰接于铰链座（5）上，坩埚托盘（15）的右端部支撑于垫块（6）顶表面。本实用新型的有益效果是：结构紧凑、能够快速取出单晶硅液、能够升降石英坩埚、操作简单。

主权项

1.单晶炉石英坩埚的升降装置，它包括单晶炉（1）和石英坩埚（2），其特征在于：所述单晶炉（1）的底部开设有导向孔，单晶炉（1）的下方设置有油缸（3），油缸（3）的活塞杆（16）向上贯穿导向孔且延伸于单晶炉（1）内，活塞杆（16）的顶部固设有平台（4），平台（4）的顶表面上且位于其左右侧分别固设有铰链座（5）和垫块（6），平台（4）的上方设置有坩埚托盘（15），坩埚托盘（15）的左端部铰接于铰链座（5）上，坩埚托盘（15）的右端部支撑于垫块（6）顶表面，所述石英坩埚（2）固设于坩埚托盘（15）顶部，石英坩埚（2）的右侧外壁上设置有L板（7），L板（7）的水平板位于石英坩埚（2）的正上方，水平板上开设有通孔（8），水平板的顶表面上固设有连通通孔（8）的螺母（9），该装置还包括喷管（10），喷管（10）的外壁上设置有外螺纹，喷管（10）与螺母（9）螺纹连接且向下贯穿通孔（8）设置。