[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821616548.9 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208883976U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 王卫卫;孙飞 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的至少一个腔室组件和与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬；至少一个加热装置，设置于与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬上，且位于所述内衬远离所述至少一个腔室组件的一侧，以独立控制每一内衬的加热温度和加热时间。本实用新型可以采用至少一个加热装置分别独立控制对应内衬的加热温度和加热时间，使得蒸镀腔室内的内衬上的水气大大减少，有利于减少镀膜材料性能改变，确保了镀膜材料在蒸镀时的良好性状，提高了蒸镀产品的效率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 内衬 腔室组件 加热 蒸镀装置 本实用新型 独立控制 镀膜材料 加热装置 蒸镀腔 蒸镀 室内 蒸镀腔室 水气 性状 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的至少一个腔室组件和与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬；至少一个加热装置，分别设置于与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬上，且分别位于所述内衬远离所述至少一个腔室组件的一侧，以独立控制对应内衬的加热温度和加热时间。
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