[实用新型]一种扩晶机

摘要

本实用新型涉及晶片膜扩晶技术领域，具体地，涉及一种扩晶机，包括底座、扩晶装置和切膜装置，所述扩晶装置包括升降组件、定位组件、第一固晶组件和圆形的扩晶台，所述切膜装置包括第二固晶组件和切膜组件，所述底座的两侧均安装有主支撑柱，所述两个主支撑柱的顶部固定安装有安装板，所述底座上设有控制箱，所述控制箱中设有PLC，本实用新型通过设置由PLC控制的升降组件精确控制扩晶台的高度，满足不同晶粒间距的使用需求，通过设置第一固晶组件，在扩晶时能够起到紧固效果，使扩晶效果达到最佳，通过设置第二固晶组件，在切蓝膜时达到精确的切膜效果。

主权项

1.一种扩晶机，其特征在于：包括底座(1)、扩晶装置和切膜装置，所述扩晶装置包括升降组件(2)、定位组件(3)、第一固晶组件(4)和圆形的扩晶台(5)，所述升降组件(2)、第一固晶组件(4)和定位组件(3)均固定在底座(1)上，所述扩晶台(5)固定在升降组件(2)上，所述切膜装置包括第二固晶组件(6)和切膜组件(7)，所述底座(1)的两侧均安装有主支撑柱(1a)，所述两个主支撑柱(1a)的顶部固定安装有安装板(1b)，所述第二固晶组件(6)固定在安装板(1b)上，所述切膜组件(7)安装在第二固晶组件(6)上，所述底座(1)上设有控制箱(1c)，所述控制箱(1c)中设有PLC。