[实用新型]基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置

摘要

本实用新型涉及光电子技术领域，提供一种基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置，包括宽带光源、光纤耦合器、参考臂、样品臂、微镜控制机、探测器以及计算机，光纤耦合器用以接收宽带光源发出的光并将其分成参考光和样品光，参考臂用以接收准直参考光并使得准直后的参考光变为沿原路返回至光纤耦合器的参考回光；样品臂用以接收、准直样品光并将准直后的样品光反射至样品表面进而使到达样品表面的样品光变为沿原路返回至光纤耦合器的样品回光；其中，样品臂包括数字微镜设备，该数字微镜设备可通过上百万个微小的反射镜扫描得到样品的三维信息；结构简单易实现，避免了利用光学扫描头产生扫描误差，精确度高。

主权项

1.基于数字微镜设备的光学相干层析成像装置，用于样品的成像，其特征在于，包括：宽带光源；光纤耦合器，用以将所述宽带光源发出的光分成参考光和样品光并分别送出；参考臂，用以接收、准直所述参考光并使得准直后的参考光变为沿原路返回至所述光纤耦合器的参考回光，包括用以接收并准直所述参考光的第一准直透镜和用以使准直后的参考光朝向所述第一准直透镜反射的反射镜，所述参考回光与所述参考光于所述第一准直透镜处耦合；样品臂，用以接收、准直所述样品光并将准直后的样品光反射至所述样品表面进而使到达所述样品表面的样品光变为沿原路返回至所述光纤耦合器的样品回光，所述参考回光与所述样品回光于所述光纤耦合器中发生干涉；所述样品臂包括用以使准直后的样品光朝向所述样品反射的数字微镜设备；微镜控制机，用以控制所述数字微镜设备开关；探测器，其与所述光纤耦合器相连接；以及计算机，其与所述探测器相连接。