[实用新型]集成电路存储器及半导体集成电路器件

摘要

本实用新型提供了一种集成电路存储器及半导体集成电路器件。采用竖直设置在衬底上的有源柱体以构成立式存储晶体管，从而有利于减小立式存储晶体管在衬底上的单元配置尺寸，进而能够进一步缩减集成电路存储器的尺寸。同时，竖直结构的立式存储晶体管具有更好的排布灵活性，例如能够实现多个立式存储晶体管呈六方密集排布，以提高集成电路存储器中存储单元的排布密集度。并且，有源柱体的横截面呈多边形，能够增加栅极通道的面积，由此改善立式存储晶体管的性能。

主权项

1.一种集成电路存储器，其特征在于，包括：一衬底；多条位线，形成在所述衬底上并沿着第一方向延伸；多个有源柱体，形成在所述位线上，以使所述有源柱体的底端部连接至所述位线，且所述有源柱体的横截面呈多边形；以及，多条字线，形成在所述衬底上并沿着第二方向延伸，所述字线在其延伸方向上连接有栅极管，所述栅极管环绕相应的有源柱体的外侧壁，所述有源柱体的顶端外露于所述栅极管，由所述有源柱体和所述栅极管共同构成所述集成电路存储器的立式存储晶体管。