[实用新型]一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备有效
| 申请号： | 201821623828.2 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN209408072U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;沈文杰;谢龙辉;卢嘉彬;周建灿;张晟明;陈德洋 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/06;B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 朱莹莹 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备，一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备，包括底架，安装在底架上的机械手组件、切方工作台、磨削工作台，切方工作台和磨削工作台相互独立，可以同时进行单晶硅棒的切方和磨削复合加工；机械手组件包括专用于切方工作台和磨削工作台上晶棒的上料、中转及下料操作的部分。本申请可有效缩短晶棒流转的流程；同时，切方磨削工作相互独立，可同时进行加工，节约加工耗时此外，切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍提高加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 切方 磨削 工作台 单晶硅棒 复合加工 一体设备 机械手组件 底架 晶棒 切磨 本实用新型 磨削动力头 对称布局 加工效率 双面加工 流转 上料 下料 耗时 加工 节约 申请 | ||
【主权项】：
1.一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备，包括底架，安装在底架上的机械手组件、切方工作台、磨削工作台，其特征在于：切方工作台和磨削工作台相互独立，可以同时进行单晶硅棒的切方和磨削复合加工；机械手组件包括专用于切方工作台和磨削工作台上晶棒的上料、中转及下料操作的部分。
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