[实用新型]双平面抛光设备有效

专利信息
申请号: 201821628023.7 申请日: 2018-10-08
公开(公告)号: CN208788286U 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 袁巨龙;邓乾发;王金虎;王加才;张万辉;陈芝向 申请(专利权)人: 杭州智谷精工有限公司
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08;B24B37/34;B24B57/02
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 陈振华
地址: 311121 浙江省杭州市余杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 双平面抛光设备,包括上抛光盘、下抛光盘及行星轮保持架,上抛光垫通过连接剂与上抛光盘连接,下抛光垫通过连接剂与下抛光盘连接;所述上抛光盘上方通过连接杆连接有支撑板,所述支撑板上设有抛光液储蓄池,所述上抛光盘上设有抛光液出液孔;所述抛光液出液孔的上端安装有真空发生器,真空发生器内部的真空发生室与抛光液出流管一端相连通,所述抛光液出流管的另一端与抛光液储蓄池相连通,真空发生器内部的喷射嘴的进口处设有节流阀,节流阀通过管路与气源相连接。本实用新型可以在加工过程中快速送液,有效地避免上抛光盘堵塞以及抛光液的沉积,同时可以快速清洗上下抛光盘机构,清洗速度快,效果好。
搜索关键词: 抛光盘 抛光液 真空发生器 抛光设备 出流管 出液孔 储蓄池 节流阀 连接剂 抛光垫 双平面 支撑板 行星轮保持架 本实用新型 连接杆连接 真空发生室 快速清洗 进口处 喷射嘴 有效地 上端 气源 送液 沉积 连通 清洗 堵塞
【主权项】:
1.双平面抛光设备,包括上抛光盘(12)、下抛光盘(16)及行星轮保持架(14),上抛光垫(13)通过连接剂与上抛光盘(12)连接,下抛光垫(17)通过连接剂与下抛光盘(16)连接;所述上抛光盘(12)上方通过连接杆(5)连接有支撑板(4),支撑板(4)上设有抛光液储蓄池(3),所述上抛光盘(12)上设有抛光液出液孔(121);其特征在于:所述抛光液出液孔(121)的上端安装有真空发生器(10),真空发生器(10)内部的真空发生室与抛光液出流管(9)一端相连通,抛光液出流管(9)的另一端与抛光液储蓄池(3)相连通,真空发生器(10)内部的喷射嘴(8)的进口处设有节流阀(7),节流阀(7)通过管路与气源相连接。
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