[实用新型]一种粘稠性药水防堵塞装置有效
| 申请号： | 201821628674.6 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN208959457U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;李文亭 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D35/16 | 分类号： | B01D35/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园3*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种粘稠性药水防堵塞装置，它包括药液槽，药液槽外连接一条内循环管路，内循环管路的两端连接药液槽的进料口和出料口，药液槽内混合有粘稠性药水，内循环管路上设置有循环泵，循环泵的进液端连接手动阀门，循环泵的出液端依次连接内循环气动阀门、过滤器和止回阀，循环泵的出液端外并联一外循环管路，外循环管路连接至药液槽的进料口，外循环管路上安装有外循环气动阀门。通过新增控制功能和修改管路设计，粘稠药水先经外循环管路，打稀薄后进入药液槽，再进内循环管路，不会堵塞过滤器，增加其寿命，减小了维护次数，使乙二醇与缓冲氧化物刻蚀液氟化铵更充分混合，有利于提高圆片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 药液槽 循环泵 药水 内循环管路 外循环管路 粘稠性 防堵塞装置 气动阀门 出液端 进料口 过滤器 本实用新型 堵塞过滤器 缓冲氧化物 充分混合 管路设计 控制功能 内循环管 手动阀门 外循环管 依次连接 出料口 氟化铵 进液端 刻蚀液 内混合 内循环 外连接 外循环 乙二醇 止回阀 并联 粘稠 减小 圆片 稀薄 维护 | ||
【主权项】：
1.一种粘稠性药水防堵塞装置，它包括药液槽，其特征在于：所述药液槽外连接一条内循环管路，所述内循环管路的两端连接药液槽的进料口和出料口，所述药液槽内混合有粘稠性药水，所述内循环管路上设置有循环泵，所述循环泵的进液端连接手动阀门，所述循环泵的出液端依次连接内循环气动阀门、过滤器和止回阀，所述循环泵的出液端外并联一外循环管路，外循环管路连接至药液槽的进料口，所述外循环管路上安装有外循环气动阀门。
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