[实用新型]一种硅片支撑装置有效

专利信息
申请号: 201821628736.3 申请日: 2018-10-08
公开(公告)号: CN208868795U 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 王会;刘品德;朱速锋;戴向荣 申请(专利权)人: 苏州南北深科智能科技有限公司
主分类号: B65G17/38 分类号: B65G17/38;B65G17/46
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫;郝彩华
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片支撑装置,包括支撑座和固定设置在所述支撑座上的挡杆组件,所述挡杆组件包括至少两根挡杆,至少两根所述挡杆均固定设置在所述支撑座的表面上,所述挡杆之间设置有容放硅片的间隔,位于所述间隔两端的所述挡杆之间形成一锐角。该硅片支撑装置可立式放置硅片,而且硅片放置平稳可靠,同时,该硅片支撑装置结构简单,减少了硅片支撑架的制造成本,且易于安装维护。
搜索关键词: 硅片支撑装置 挡杆 支撑座 硅片 挡杆组件 固定设置 本实用新型 安装维护 硅片放置 立式放置 制造成本 支撑架 锐角
【主权项】:
1.一种硅片支撑装置,其特征在于:包括支撑座和固定设置在所述支撑座上的挡杆组件,所述挡杆组件包括至少两根挡杆,至少两根所述挡杆均固定设置在所述支撑座的表面上,所述挡杆之间设置有容放硅片的间隔,位于所述间隔两端的所述挡杆之间形成一锐角。
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