[实用新型]具有化料保温盖的单晶炉

摘要

一种具有化料保温盖的单晶炉，该单晶炉包括设有上端开口的炉体，在炉体内安装有保温毡，保温毡顶端端面设有盖板，盖板上设有导流筒，导流筒成倒立圆台状，导流筒内腔从上而下逐渐径缩，在导流筒内侧底端盖合有保温盖，保温盖包括吊杆、盖体，吊杆、盖体均采用高纯石墨制成，吊杆的上端通过钨制籽晶绳与该单晶炉的籽晶夹头固定连接，吊杆的上端与盖体中心可拆卸连接，盖体水平盖合在导流筒内侧底端，盖体的外径小于导流筒下端内壁的直径，本实用新型通过增加保温盖，可以减少炉体内热量向上部散失，使炉体内温度恒定，从而达到降低加热器功率及缩短化料时间，盖体外侧壁与导流筒内侧壁不接触，这样，氩气可通过导流筒与盖体之间的间隙进入炉体。

主权项

1.一种具有化料保温盖的单晶炉，其特征在于：该单晶炉包括设有上端开口的炉体，盖接在所述炉体的上端口位置的炉盖，所述炉体侧壁具有夹层，夹层内流通有冷却介质，在炉体内安装有保温毡，保温毡为中空筒体，保温毡顶部开口，所述保温毡外壁紧贴炉体内侧壁，所述保温毡顶端端面设有盖板，所述盖板上设有导流筒，导流筒成倒立圆台状，导流筒内腔从上而下逐渐径缩，保温毡内腔与炉盖内腔通过导流筒内腔连通，保温毡底部中心贯穿有支撑轴，支撑轴上托举有坩埚托盘，所述支撑轴能够带动坩埚托盘在竖直方向上移动，坩埚托盘上安装有石墨坩埚，石墨坩埚位于导流筒的正下方，石墨坩埚的上端面直径大于导流筒下端面直径，保温毡底壁与坩埚托盘之间安装有底加热器，保温毡侧壁与石墨坩埚之间安装有侧加热器，在导流筒内侧底端盖合有保温盖，所述保温盖包括吊杆、盖体，所述吊杆、盖体均采用高纯石墨制成，吊杆的上端通过钨制籽晶绳与该单晶炉的籽晶夹头固定连接，吊杆的上端与盖体中心可拆卸连接，盖体水平盖合在导流筒内侧底端，盖体的外径小于导流筒下端内壁的直径。