[实用新型]用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统有效
| 申请号： | 201821638609.1 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN209446259U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏玮;郑列华;张金平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统。系统中球面反射镜的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上，激光干涉仪发出的发散光线，从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组的折射，入射到球面反射镜上；从球面反射镜反射的光线，再经过待检反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪。本光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，在保证检验精度的同时，可以减小辅助面的口径以及系统的长度。 | ||
| 搜索关键词： | 凸双曲面反射镜 球面反射镜 超大口径 光学系统 入射 反射 检验 口径 球心 补偿透镜组 激光干涉仪 发散光线 法线方向 精度检验 原路返回 自准反射 反射镜 干涉仪 后焦点 中心孔 减小 折射 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统，由激光干涉仪(1)，补偿透镜组(2)，待检凸双曲面反射镜，球面反射镜(3)组成，其特征在于：所述的球面反射镜(3)的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上，激光干涉仪(1)发出的发散光线，从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组(2)的折射，入射到球面反射镜(3)上；从球面反射镜(3)反射的光线，再经过待检反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜(3)上，并自准反射，按原路返回干涉仪。
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