[实用新型]半导体夹具

摘要

一种半导体夹具，包括：载具，载具包括第一中心区和包围第一中心区的第一边缘区，第一中心区内具有若干个相互分立的晶圆区，载具包括第一面，各晶圆区内具有一个第一开口和包围第一开口的若干个第一定位针，第一定位针位于第一面的表面，第一面暴露出第一开口，所述第一开口内用于容纳晶圆，载具的第一边缘区第一面的表面具有第二定位针；盖板，盖板包括第二中心区和包围第二中心区的第二边缘区，第二边缘区内具有贯穿盖板的第二开口，第二中心区内具有贯穿盖板的若干个第三开口，当第一面与盖板盖合时，第二开口用于容纳部分第二定位针，各第三开口暴露出一个晶圆区。利用所述半导体夹具能够降低定位载具和盖板的难度。

主权项

1.一种半导体夹具，其特征在于，包括：载具，所述载具包括第一中心区和包围第一中心区的第一边缘区，所述第一中心区内具有若干个相互分立的晶圆区，所述载具包括第一面，各晶圆区内具有一个第一开口和包围第一开口的若干个第一定位针，且所述第一定位针位于第一面的表面，所述第一面暴露出第一开口，所述第一开口内用于容纳晶圆，所述载具的第一边缘区第一面的表面具有第二定位针；盖板，所述盖板包括第二中心区和包围第二中心区的第二边缘区，所述第二边缘区内具有贯穿盖板的第二开口，所述第二中心区具有贯穿盖板的若干个第三开口，当载具的第一面与盖板盖合时，所述第二开口用于容纳部分第二定位针，各所述第三开口暴露出一个晶圆区。