[实用新型]镀膜装置有效
| 申请号： | 201821648196.5 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN209144249U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杨肸曦 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种镀膜装置，包括腔室和多个载体，载体能够在腔室内进行镀膜，载体包括：本体，用于承载待镀膜工件；第一折弯结构，包括第一侧壁及第一搭接面，第一侧壁两端分别与本体一端及第一搭接面连接；第二折弯结构，包括第二侧壁及第二搭接面，第二侧壁两端分别与本体另一端及第二搭接面连接；一个载体的第二搭接面用于搭接在相邻另一个载体的第一搭接面上。相邻载体之间通过第一搭接面及第二搭接面实现叠加，避免之间出现间隔，使气场环境稳定，改善溅射区的真空环境，提高溅射的均匀性，避免产生间隔区的溅射污染，减少腔室的污染及溅射靶材的浪费，降低设备的维护周期。 | ||
| 搜索关键词： | 搭接面 第二侧壁 第一侧壁 镀膜装置 折弯结构 搭接 溅射 接面 腔室 待镀膜工件 环境稳定 溅射靶材 降低设备 维护周期 相邻载体 真空环境 间隔区 溅射区 均匀性 镀膜 气场 污染 叠加 承载 室内 申请 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：腔室(500)和多个载体(100)，每一个载体(100)在所述腔室(500)内完成镀膜；所述载体(100)包括：本体(110)，用于承载待镀膜工件；第一折弯结构(120)，包括第一侧壁(122)及第一搭接面(124)，所述第一侧壁(122)两端分别与所述本体(110)一端及所述第一搭接面(124)连接；以及第二折弯结构(130)，包括第二侧壁(132)及第二搭接面(134)，所述第二侧壁(132)两端分别与所述本体(110)另一端及所述第二搭接面(134)连接；一个所述载体(100)的所述第二搭接面(134)与相邻另一个所述载体(100)的所述第一搭接面(124)搭接。
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