[实用新型]一种链式循环传动槽结构有效
| 申请号： | 201821649697.5 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN208861946U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种链式循环传动槽结构，包括：槽体,其内设有隔板，隔板将槽体分隔成相连通的反应槽和储液槽，反应槽内设有用于传送半导体硅片的传送机构；用于将储液槽内的药液输送至反应槽中的液体循环系统。反应槽和储液槽上下设置，液体循环系统包括泵、进液管道、出液管和进液盒，进液盒位于储液槽内并安装在隔板上，出液管道的一端连接泵，另一端与储液槽连通。本实用新型的结构更为简单，安装更为方便；相比于传统的湿法处理设备，本实用新型使生产效率得到保障。 | ||
| 搜索关键词： | 储液槽 反应槽 隔板 本实用新型 液体循环系统 链式循环 传动槽 进液盒 槽体 湿法处理设备 半导体硅片 出液管道 传送机构 进液管道 上下设置 生产效率 药液输送 一端连接 出液管 传统的 分隔 连通 传送 | ||
【主权项】：
1.一种链式循环传动槽结构，其特征在于，包括：槽体,其内设有隔板，隔板将槽体分隔成反应槽和储液槽，所述反应槽和储液槽连通，所述反应槽内设有用于传送半导体硅片的传送机构；用于将储液槽内的药液输送至反应槽中的液体循环系统。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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