[实用新型]机床几何误差及旋转台转角定位误差检定装置

摘要

本实用新型涉及多轴数控机床几何误差及旋转台转角定位误差的检定，为提出高效、高精度的多轴数控机床几何误差的检定方法。为此，本实用新型采取的技术方案是，数控机床几何误差及旋转台转角定位误差检定装置，在机床Z轴运动部件上安装有光学测头，在与机床Z轴垂直的平台上卡固组合面型基准件，在所述组合面型基准件上设有曲面阵列和平面阵列，位于所述组合面型基准件的上方；所述光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块，所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束。本实用新型主要应用于多轴数控机床几何误差及旋转台转角定位误差的检定场合。

主权项

1.一种机床几何误差及旋转台转角定位误差检定装置，其特征是，在机床Z轴运动部件上安装有光学测头，在与机床Z轴垂直的平台上卡固组合面型基准件，在所述组合面型基准件上设有曲面阵列和平面阵列，位于所述组合面型基准件的上方；所述光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机，所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束，细直光束经所述反射镜后入射到所述分光棱镜中，投射到曲面和平面阵列上任意一点的光的能量占总能量的1/2，该点反射的光束经所述分光棱镜透射后，通过所述成像透镜成像在所述CCD相机上；采用所述光学测头和所述组合面型基准件测量机床的运动部件在X、Y两个方向上的位移和绕X、Y两个方向的转角；所述光学测头和组合面型基准件共同构成多参数检测仪器；在Z轴上安装差分光学测头，在与Z轴平行或同轴的旋转台上卡固曲面基准件，在所述曲面基准件上设有多组成对布置的曲面组，每组曲面设有一个曲面Ⅰ和曲面Ⅱ，每个曲面组内的曲面Ⅰ和曲面Ⅱ设置在同一直径上，相邻两个曲面组的中心线夹角是β，所述差分光学测头设有一个数据处理模块和两个结构相同的光学测头，两个所述光学测头分别是光学测头Ⅰ和光学测头Ⅱ，所述光学测头的光轴与Z轴平行，所述差分光学测头位于所述曲面基准件的上方，两个所述光学测头光轴间的距离与曲面Ⅰ和曲面Ⅱ中心间的距离相等；所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束，细直光束经所述反射镜后入射到所述分光棱镜中，1/2能量的反射光束投射到曲面内的任意一点，该点反射的光束经所述分光棱镜透射后，通过所述成像透镜成像在所述CCD相机上；采用所述差分光学测头和所述曲面基准件检定机床旋转台转角定位误差。/n