[实用新型]石英匀流板

摘要

本实用新型提供了一种石英匀流板，石英匀流板包括：第一匀流板，第二匀流板和第一连接件；第二匀流板与第一匀流板相对设置，且第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，且第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以使第一匀流板与第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个导流孔流入，且从间隙中流出。通过在第二匀流板上设置至少两个导流孔，可实现气体均匀流入到间隙中，以避免大量气体突然间进入到间隙，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提高工艺均匀镀膜的稳定性，提升了用户的体验。

主权项

1.一种石英匀流板，其特征在于，所述石英匀流板包括：第一匀流板；第二匀流板，所述第二匀流板与所述第一匀流板相对设置，且所述第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件，所述第一连接件的一端与所述第一匀流板的中心相连接，且所述第一连接件的另一端与所述第二匀流板的中心相连接，以使所述第一匀流板与所述第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个所述导流孔流入，且从所述间隙中流出。