[实用新型]防刮伤治具

摘要

本实用新型实施例公开了一种防刮伤治具。本实用新型的防刮伤治具，设置在晶圆片框架上，包括：第一治具和第二治具。第一治具和第二治具分别设置在晶圆片框架两侧的外侧面，治具上设有多个等间距的校准槽，对应的一组校准槽位于同一高度，用于晶圆片的插入。校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度。本实用新型的防刮伤治具，治具上的校准槽的高度大于晶圆片的厚度，且小于两块晶圆片的厚度。晶圆片放入晶圆片框架时，经校准槽后进入晶圆片框架，使得晶圆片框架上的每组放置槽只能放入一块晶圆片，晶圆片不会重叠放置而发生刮伤。

主权项

1.一种防刮伤治具，用于设置在晶圆片框架上，所述晶圆片框架包括顶板、底板、左竖框和右竖框，所述左竖框和所述右竖框上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片，其特征在于，所述防刮伤治具包括：第一治具和第二治具；所述第一治具用于设置在所述左竖框上，与所述左竖框的外侧面抵持，所述第一治具设有多个等间距的第一校准槽，所述第一校准槽在所述第一治具的右侧形成开口；所述第二治具用于设置在所述右竖框上，与所述右竖框的外侧面抵持，所述第二治具设有多个等间距的第二校准槽，所述第二校准槽在所述第二治具的左侧形成开口；对应的一组第一校准槽与第二校准槽位于同一高度，用于所述晶圆片的插入；所述多个第一校准槽与所述多个放置槽对应，第一校准槽的底面与对应的放置槽的底面位于同一平面；所述第一校准槽的高度大于所述晶圆片的厚度，且小于两块所述晶圆片的厚度；所述第二校准槽的高度与所述第一校准槽的高度相同。