[实用新型]机械手臂有效
| 申请号： | 201821664227.6 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN208841449U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 颜一鸣;李俊杰 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂。所述机械手臂包括：手臂本体；两支夹臂，对称连接于所述手臂本体的相对两侧，用于共同夹持一晶圆；辅助手臂，连接所述手臂本体，用于吸附所述晶圆。本实用新型提高了晶圆传送过程的安全性，减少了晶圆传送过程中对真空吸附性能的依赖。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 机械手臂 手臂本体 本实用新型 传送过程 半导体制造技术 对称连接 辅助手臂 相对两侧 真空吸附 夹臂 夹持 吸附 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂本体；两支夹臂，对称连接于所述手臂本体的相对两侧，用于共同夹持一晶圆；辅助手臂，连接所述手臂本体，用于吸附所述晶圆。
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