[实用新型]一种箔材热处理设备

摘要

本实用新型一种箔材热处理设备，呈圆柱形，为设有保温层的密封腔体结构，腔体的顶部设有腔盖，腔盖上设有一个抽真空接口和一个真空计接口，腔盖通过铰链与腔体连接。腔体的内部，从腔壁沿内径依次设有若干导热板、若干加热器、若干热偶、支架，导热板、加热器、热偶固定支架上，腔体的中部纵向设有多根卷芯加热轴，卷芯加热轴的下端固定在腔体底部上，从卷芯加热轴的上端能套入卷状箔材，箔材卷在空心的卷芯上。本方案结构设计简单，可均匀对箔材进行加热，可用作溅射镀膜的前处理装备，对箔材进行快速除气，缩短生产时间，一次可处理多卷箔材。

主权项

1.一种箔材热处理设备，呈圆柱形，为设有保温层的密封腔体结构，其特征在于：所述腔体的顶部设有腔盖，所述腔盖上设有一个抽真空接口和一个真空计接口，所述腔盖通过铰链与所述腔体连接；所述腔体的内部，从腔壁沿内径依次设有若干导热板、若干加热器、若干热偶、支架，所述导热板、所述加热器、所述热偶固定所述支架上，所述腔体的中部纵向设有多根卷芯加热轴，所述卷芯加热轴的下端固定在腔体底部上，从所述卷芯加热轴的上端能套入卷状箔材，所述箔材卷在空心的卷芯上。