[实用新型]环保式清洗机台有效
| 申请号： | 201821668296.4 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN209006366U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李国光;陈韦融;郭肯华;丁鸿泰 | 申请（专利权）人： | 鸿超光电科技股份有限公司;睿明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B3/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李有财 |
| 地址： | 中国台湾台北市内*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本创作是一种环保式清洗机台用于清洗一基板，其包含一传输部、一第一清洗部、一第二清洗部与一烘干部。传输部通过一驱动件驱动一传输件，以移动基板。一第一清洗部能够将一第一清洗液输出至基板，让第一清洗液包覆位在基板的杂质。一第二清洗部能够将一第二清洗液输出至基板，用以清洗经第一清洗液包覆的杂质。一烘干部输出一风切至基板，以去除基板的杂质、第一清洗液与第二清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗液 基板 清洗 清洗机台 传输部 输出 移动基板 包覆的 传输件 驱动件 包覆 去除 环保 驱动 创作 | ||
【主权项】：
1.一种环保式清洗机台，是清洗一基板，其特征在于，所述环保式清洗机台包含：一传输部，具有一驱动件与一传输件，所述驱动件驱动所述传输件，以供移动所述基板；一第一清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第一清洗部具有一第一输出单元与一第一储存槽，所述第一输出单元连接所述第一储存槽，所述第一输出单元朝向所述传输部，以供将所述第一储存槽储存一第一清洗液输出至所述基板，让所述第一清洗液包覆位在所述基板的一杂质，其中所述第一清洗液为一奈米级离子水；一第二清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第二清洗部具有一第二输出单元与一第二储存槽，所述第二输出单元连接所述第二储存槽，所述第二输出单元朝向所述传输部，以供将所述第二储存槽储存一第二清洗液输出至所述基板，用以清洗经所述第一清洗液包覆的所述杂质，其中所述第二清洗液为一纯水；以及一烘干部，设置在所述传输部的一侧，所述烘干部输出一作用力至所述基板，以去除所述基板的所述杂质、所述第一清洗液与所述第二清洗液。
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