[实用新型]一种多晶硅炉盘干式清洗机有效
| 申请号： | 201821673019.2 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN209303365U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 李毅光;赵禹涵 | 申请（专利权）人： | 北京德高洁清洁设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100013 北京市东城区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅炉盘干式清洗机，包括干冰机组，与干冰机组相连设有干冰供料系统、防爆除尘系统、防爆电控系统，构成一个供冰组合体，此组合体与防爆清洗系统管道相连；所述防爆清洗系统是在外罩内设有清洗装置，所述清洗装置，是在一支架上设有旋转伺服机构，伺服机构下设有直线模块，直线模块下设有清洗机头，清洗机头下设有喷头和喷嘴，喷头上连接有喷头升降气缸。本实用新型创造性地将干冰清洗应用于多晶硅炉盘，它安全高效、干净快捷，且不会产生二次污染。将干冰机组、干冰供料系统、防爆除尘系统、防爆电控系统进行进一步整合成组合体，放置在可独立移动的平板车上，使用方便灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 防爆 干冰 多晶硅 组合体 炉盘 喷头 本实用新型 干式清洗机 除尘系统 电控系统 供料系统 清洗系统 清洗装置 直线模块 机组 机头 清洗 平板车 独立移动 二次污染 干冰清洗 升降气缸 伺服机构 旋转伺服 喷嘴 供冰 外罩 整合 支架 灵活 应用 安全 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅炉盘干式清洗机，包括干冰机组，其特征是：与干冰机组相连设有干冰供料系统、防爆除尘系统、防爆电控系统，构成一个供冰组合体，此组合体与防爆清洗系统管道相连；所述防爆清洗系统是在外罩内设有清洗装置，所述清洗装置，是在一支架上设有旋转伺服机构，伺服机构下设有直线模块，直线模块下设有清洗机头，清洗机头下设有喷头和喷嘴，喷头上连接有喷头升降气缸。
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