[实用新型]一种脆性材料的单面抛光治具有效
| 申请号： | 201821674918.4 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN209158071U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王熙博;袁林锋 | 申请（专利权）人： | 北京亦盛精密半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人： | 陈靳秋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种脆性材料的单面抛光治具，包括圆盘本体，圆盘本体正面设有与圆盘本体同心设置的平底凹槽，平底凹槽用于扣合在带加工零件上；所述圆盘本体背面设有通气槽，通气槽的端部与圆盘本体边缘处相通。本实用新型的抛光治具，扣合在单抛机下盘面上的零件上，单抛机上盘面直接接触并扣合在抛光治具背面，由于抛光治具背面设有通气槽，通气槽与盘面本体边缘处相通，所以解决了上盘面与治具背面由于挤压形成真空状态，从而造成治具不易从上盘面上取下的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘本体 通气槽 治具 抛光治具 背面 本实用新型 脆性材料 单面抛光 平底凹槽 边缘处 相通 加工零件 盘面本体 同心设置 真空状态 上盘面 盘面 取下 上盘 下盘 挤压 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料的单面抛光治具，其特征在于，包括圆盘本体(5)，所述圆盘本体(5)正面设有与圆盘本体(5)同心设置的平底凹槽(52)，所述平底凹槽(52)用于扣合在带加工零件上；所述圆盘本体(5)背面(55)设有通气槽(54)，所述通气槽(54)的端部与圆盘本体(5)边缘处相通。
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