[实用新型]一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置有效
申请号: | 201821674963.X | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN209383396U | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 肖承祥;庞大宇;郭校亮;唐子凡;侯雨新 | 申请(专利权)人: | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 朱昀 |
地址: | 266000 山东省青岛市即墨市蓝色硅*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能级多晶硅制造领域,尤其涉及一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置。本实用新型装置的熔炼坩埚的结构为由后端向导液口倾斜;熔炼坩埚内具有若干间隔,每个间隔内槽对应一个熔炼槽,每个熔炼槽对应一个导液口;且使用时电子束熔炼能量分布模式与熔炼坩埚的结构相应的为自后端向导液口逐渐减小。本实用新型使用时通过电子束熔炼能量分布模式的选择,并选用多模熔炼坩埚结构,用来去除介质熔炼后硅料当中的碳化硅及挥发性杂质元素,成本低、效果好。 | ||
搜索关键词: | 熔炼坩埚 本实用新型 熔炼 硅料 能量分布模式 电子束熔炼 熔炼槽 提纯 液口 太阳能级多晶硅 挥发性杂质 逐渐减小 导液口 碳化硅 多模 内槽 去除 制造 | ||
【主权项】:
1.一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置,其特征在于:具有一熔炼坩埚,熔炼坩埚的结构为由后端向导液口倾斜;熔炼坩埚内具有若干间隔,每个间隔内槽对应一个熔炼槽,每个熔炼槽对应一个导液口。
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