[实用新型]一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统有效
| 申请号： | 201821678977.9 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN208819018U | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张方德;钟靖;邬惠锋;谢桂平 | 申请（专利权）人： | 浙江欧珑电气有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 陈晖 |
| 地址： | 325000 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统，其包括可与曝光台面构成滑移配合的光源，所述光源包括若干阵列设置的紫外LED灯组，其中紫外LED灯组包括灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D，所述灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D的波长均不相同，且所述紫外LED灯组以首行ABCD排列，第二行以BCDA排列，第三行以CDAB排列，第四行以DABC排列，每行以各自的排列方式循环设置，其构成以任意一灯珠为中心，其周向分布数量一致的灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D，通过特殊的排列方式，使得最小的四边形的照射范围内，各个光源占的比例基本一致，从而实现不同波段的光源在移动时产生最均匀的光源，从而能实现同一光源不同波段的曝光要求。 | ||
| 搜索关键词： | 灯珠 光源 波段 紫外LED灯 排列方式 扫描光源 曝光机 本实用新型 滑移配合 曝光台面 数量一致 循环设置 阵列设置 周向分布 波长 照射 曝光 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统，其特征在于：其包括可与曝光台面构成滑移配合的光源，所述光源包括若干阵列设置的紫外LED灯组，其中紫外LED灯组包括灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D，所述灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D的波长均不相同，且所述紫外LED灯组以首行ABCD排列，第二行以BCDA排列，第三行以CDAB排列，第四行以DABC排列，每行以各自的排列方式循环设置，其构成以任意一灯珠为中心，其周向分布数量一致的灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D。
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