[实用新型]一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置有效
| 申请号： | 201821693412.8 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN209020363U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李波;谢丹;舒霞云;吴常健;许克宇;陈文奂;魏智滨;张墙;肖航 | 申请（专利权）人： | 厦门理工学院 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 | 代理人： | 麻艳 |
| 地址： | 361024 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，该成膜装置包括液滴喷头、运动机构及固定在运动机构的运动台上的基板；所述运动台的上方设有工作腔；所述成膜装置还设有pH调节装置，该pH调节装置包括酸碱液供应装置及雾化装置，该酸碱液供应装置及雾化装置之间设有连接二者的管道，该雾化装置的雾化喷口位于该工作腔内。本实用新型可实现在外部对喷射出的微滴进行pH调节，从而在成膜过程中对pH值的控制，进而完成均匀沉积薄膜，图案成型的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜装置 雾化装置 本实用新型 供应装置 运动机构 工作腔 酸碱液 液滴 外部 成膜过程 均匀沉积 图案成型 雾化喷口 液滴喷头 运动台 基板 微滴 薄膜 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，该成膜装置包括液滴喷头（11）、运动机构及固定在运动机构的运动台（13）上的基板（12）；其特征在于：所述运动台（13）的上方设有工作腔（14）；所述成膜装置还设有pH调节装置，该pH调节装置包括酸碱液供应装置（51）及雾化装置（52），该酸碱液供应装置（51）及雾化装置（52）之间设有连接二者的管道（54），该雾化装置（52）的雾化喷口位于该工作腔（14）内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门理工学院，未经厦门理工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821693412.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：磷系阻燃剂合成反应系统
- 下一篇：一种教学型胶体制备设备
