[实用新型]一种湿制程设备用新型阻水滚轴有效
| 申请号： | 201821697031.7 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN208806226U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 丁可庄;庞福乐;郭本道;张德方 | 申请（专利权）人： | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳市中国（河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种湿制程设备用新型阻水滚轴，其特征在于包括传动通芯轴、阻水轮、支撑块、限位块，该传动通芯轴的一端与传动卡口端连接、另一端与轴承端连接，所述传动通芯轴上套设多个呈圆柱状的支撑块，相邻的两个阻水轮通过一个所述支撑块相接，且阻水轮的轴孔与支撑块为过盈配合，位于传动通芯轴两端部的阻水轮分别通过一个所述限位块锁紧，并使得相邻两个阻水轮之间没有缝隙，该限位块与传动通芯轴通过螺纹连接。借由上述技术方案，本实用新型基于现有结构的滚轴进行再加工改造，以达到降低产品报废率、规避各槽化学品溶液发生串液的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 传动 通芯 水轮 限位块 滚轴 湿制程设备 支撑 阻水 本实用新型 化学品溶液 产品报废 过盈配合 螺纹连接 卡口端 圆柱状 再加工 轴承端 轴两端 串液 上套 锁紧 轴孔 改造 | ||
【主权项】：
1.一种湿制程设备用新型阻水滚轴，其特征在于包括传动通芯轴、阻水轮、支撑块、限位块，该传动通芯轴的一端与传动卡口端连接、另一端与轴承端连接，所述传动通芯轴上套设多个呈圆柱状的支撑块，相邻的两个阻水轮通过一个所述支撑块相接，且阻水轮的轴孔与支撑块为过盈配合，位于传动通芯轴两端部的阻水轮分别通过一个所述限位块锁紧，并使得相邻两个阻水轮之间没有缝隙，该限位块与传动通芯轴通过螺纹连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳尚德太阳能电力有限公司，未经洛阳尚德太阳能电力有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821697031.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：晶圆晶边清洗装置
- 下一篇：晶圆位置检测装置以及半导体加工设备
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
