[实用新型]一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置有效
| 申请号： | 201821700606.6 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN209287236U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王小军;董茂进;冯煜东;党文强;何丹;李中华 | 申请（专利权）人： | 无锡泓瑞航天科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张洁;仇蕾安 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于防凝结供气的技术领域，具体涉及一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，流量计采用差压式质量流量计，所述装置包括水浴加热装置、进气管道加热带、流量计加热丝和热水管路；其中，水浴加热装置用于对六甲基二硅氧烷进行加热，进气管道加热带缠绕在外部进气管道和电磁阀内部进气管道的表面上，流量计加热丝缠绕在差压式质量流量计的管道上，热水管路设置在真空腔室外壁上。有效解决了六甲基二硅氧烷单体堵塞供气系统的难题，简单易行，容易实现，成本不高。 | ||
| 搜索关键词： | 六甲基二硅氧烷 进气管道 流量计 水浴加热装置 质量流量计 供气装置 热水管路 凝结 差压式 加热带 加热丝 缠绕 本实用新型 供气系统 有效解决 电磁阀 真空腔 加热 供气 室外 堵塞 外部 | ||
【主权项】：
1.一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，所述装置包括存放装置(10)和进气管道(2)，进气管道(2)的一端与存放装置(10)连接，一端与真空腔室(6)连接，进气管道上设有电磁阀(5)和流量计，其特征在于：所述流量计采用差压式质量流量计(4)，所述装置还包括水浴加热装置(1)、进气管道加热带(3)、流量计加热丝(9)和热水管路(7)；其中，水浴加热装置(1)用于对六甲基二硅氧烷进行加热，进气管道加热带(3)缠绕在进气管道(2)和电磁阀(5)内部进气管道的表面上，流量计加热丝(9)缠绕在差压式质量流量计(4)的管道上，热水管路(7)设置在真空腔室(6)外壁上。
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