[实用新型]一种简易型气液混合阀门箱

摘要

本实用新型涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置技术领域，具体地说是一种简易型气液混合阀门箱，其在箱体内设载气管路；液态源管路；真空射流器，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端；混合输出分配管路，一端为混合气进气端连接真空射流器的混合气出口，另一端为吹扫气进气端；混合气进气端连接真空射流器的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台；吹扫管路，其出口连接混合输出分配管路的吹扫气进气端。本实用新型与现有技术相比，大大降低制造成本；提升了安全性；气液混合充分有效，控制有效可靠，操作简单。

主权项

1.一种简易型气液混合阀门箱，包括箱体(1)，其特征在于，在所述箱体(1)内设有：——载气管路，用于输送载气，其进气口设于箱体(1)上；——液态源管路，用于输送液态源，其进液口设于箱体(1)上；——真空射流器(4)，其进气口连接所述载气管路的出口端，其真空吸入口连接液态源管路的出口端，用于蒸发气化液态源并使之与载气混合形成混合气；——混合输出分配管路，其一端为混合气进气端，其另一端为吹扫气进气端；所述混合气进气端连接所述真空射流器(4)的混合气出口，其管路上依次设有若干分配控制阀，分配控制阀的混合气输出通连接输出管的一端，输出管的另一端用于连接相应的工艺生产机台，为工艺生产机台输送混合气；——吹扫管路，其吹扫气进口设于箱体(1)上，其出口连接所述混合输出分配管路的吹扫气进气端。