[实用新型]一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置

摘要

一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置，其属于材料分析测试技术领域。该装置设置在透射电镜机械泵或油扩散泵等和照相室之间，透射电镜机械泵或油扩散泵等产生的挥发性油气经由真空管路扩散到油气处理系统，在油气处理系统中经分子筛/炭膜复合膜处理，净化再经照相室端阀门、照相室接头维持照相室洁净的高真空系统。可以实现安全、实用、经济、有效地在透射电镜上安装并进行大规模推广。该装置有效地去除油气，避免了油气进入到照相室内进而在相机表面形成一层油膜，进而影响相机性能及透射电镜正常观测的问题。

主权项

1.一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置，透射电镜自上而下包括电子枪（1）、聚光镜（2）、样品杆（3）、显微镜（4）、观察窗（5）、观察室（6）和照相室（7），其特征在于：机械泵（10）分两路连接到照相室（7），一路为机械泵（10）经机械泵阀（14）、机械泵管（15）和油气处理系统连接至照相室（7）；另一路为机械泵（10）经缓冲罐管（11a）连接至缓冲罐（11），再经过油扩散泵（9）、油扩散泵阀（12）、油泵管（13）和油气处理系统连接至照相室（7）；所述油气处理系统包括两个并联的油气处理单元，油气处理单元包括泵端阀门（16）、油气处理柱（18）和照相室端阀门（17），油气处理柱（18）自左到右包括无纺布层（18c）、分子筛/多孔炭膜层（18b）、炭膜柱层（18a）、分子筛/多孔炭膜层（18b）和无纺布层（18c）。