[实用新型]一种化学机械抛光设备用抛光液供给装置

摘要

本实用新型涉及一种化学机械抛光设备用抛光液供给装置，包括原液储存罐、去离子水储存罐、抛光液供给罐，所述抛光液供给罐的上部设置有盖体，所述盖体上设置有搅拌电机，所述搅拌电机的输出轴穿过所述盖体与抛光液供给罐内的搅拌轴相连接，所述搅拌轴上均匀间隔设置有多组搅拌叶片，其中至少一组所述搅拌叶片朝下倾斜设置；所述抛光液供给罐内设置有水位计、温度传感器、抛光液浓度传感器，所述抛光液供给罐内侧底壁上设置有电加热器；所述抛光液供给罐的外壁还紧密缠绕有制冷盘管。本实用新型能够准确高效的向化学机械抛光设备提供合适浓度、合适温度的抛光液，确保化学机械抛光设备的长时间稳定运行，提高抛光效率。

主权项

1.一种化学机械抛光设备用抛光液供给装置，其特征在于：包括原液储存罐、去离子水储存罐、抛光液供给罐，所述原液储存罐、去离子水储存罐通过输送泵、电磁三通调节阀、流量计与所述抛光液供给罐的入液口相连接；所述抛光液供给罐的上部设置有盖体，所述盖体上设置有搅拌电机，所述搅拌电机的输出轴穿过所述盖体与抛光液供给罐内的搅拌轴相连接，所述搅拌轴上均匀间隔设置有多组搅拌叶片，其中至少一组所述搅拌叶片朝下倾斜设置；所述抛光液供给罐内设置有水位计、温度传感器、抛光液浓度传感器，所述抛光液供给罐内侧底壁上设置有电加热器；所述抛光液供给罐的外壁还紧密缠绕有制冷盘管，所述制冷盘管外部设置有保温套，还包括压缩机、冷凝器、节流装置，所述制冷盘管的出口与压缩机的入口相连接，所述压缩机的出口依次与冷凝器、节流装置相连接，所述节流装置的出口与制冷盘管的入口相连接；还包括控制器，所述控制器分别与所述输送泵、电磁三通调节阀、流量计、搅拌电机、电加热器、水位计、温度传感器、抛光液浓度传感器、压缩机相连接。