[实用新型]一种新型显影液加液系统有效

专利信息
申请号: 201821727707.2 申请日: 2018-10-24
公开(公告)号: CN208752393U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 王祥;丁建峰;于玉斋;魏明德 申请(专利权)人: 徐州同鑫光电科技股份有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 徐州市三联专利事务所 32220 代理人: 周爱芳
地址: 221000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种新型显影液加液系统,包括Tank桶、显影液桶;显影液桶上安装有显影液桶盖,显影液桶盖上开有两个孔,一个孔内安装有显影液加液管路,加液管路的一端伸至显影液桶的底部,另一端伸至Tank桶的底部,显影液加液管路上安装有显影液截止阀;另一个孔内安装有管路一,管路一上安装有三通阀一,三通阀一的另外两个阀口分别为氮气口、排气口;Tank桶内安装有输液管路,输液管路的一端伸至Tank桶底部,另一端与显影单元连接;Tank桶的顶部安装有管路二,管路二上安装有三通阀二,三通阀二的另外两个阀口分别为氮气口、排气口。本实用新型在较低成本的情况下对显影液进行半自动添加,避免了气泡的产生和物料的浪费。
搜索关键词: 显影液 三通阀 本实用新型 加液管路 加液系统 输液管路 氮气口 排气口 阀口 桶盖 顶部安装 显影单元 低成本 加液管 截止阀
【主权项】:
1.一种新型显影液加液系统,包括Tank桶(1),所述Tank桶(1)通过输液管路(12)与显影单元(5)连接,其特征在于,还包括与Tank桶(1)配合的显影液桶(6);所述显影液桶(6)上安装有显影液桶盖(7),所述显影液桶盖(7)上开有两个孔,一个孔内安装有显影液加液管路(9),所述显影液加液管路(9)的一端伸至显影液桶(6)的底部,另一端经Tank桶壁伸至Tank桶(1)的底部,显影液加液管路(9)上安装有显影液截止阀(10);显影液桶盖(7)上的另一个孔内安装有管路一,管路一上安装有三通阀一(8),所述三通阀一(8)的另外两个阀口分别为氮气口、排气口;所述Tank桶(1)内安装有输液管路(12),输液管路(12)的一端伸至Tank桶(1)底部,另一端与多个显影单元(5)连接;所述Tank桶(1)的顶部还安装有管路二,管路二上安装有三通阀二(11),所述三通阀二(11)的另外两个阀口分别为氮气口、排气口。
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