[实用新型]不良晶粒自动剔除设备有效
申请号: | 201821740213.8 | 申请日: | 2018-10-24 |
公开(公告)号: | CN208923042U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 徐明星;张朝奇;马齐营 | 申请(专利权)人: | 山东芯诺电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 卢登涛 |
地址: | 272100 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种不良晶粒自动剔除设备,属于半导体元器件生产装置技术领域,包括滚轴电机和从动转轴,滚轴电机和从动转轴之间设有传送皮带,传送皮带水平方向设置,滚轴电机的端部连接有调速器,传送皮带的上方设有一分离器,分离器包括安装支架,安装支架的下方联接有磁铁,磁铁大小与传送皮带宽度相同,分离器的下方设有一不良品收集盒,不良品收集盒的位置与分离器的位置相对应;本设备结构简单、能够满足改善不良晶粒剔除速率,同时改善人员失误造成的损失降低生产成本,解决了现有技术中出现的问题。 | ||
搜索关键词: | 分离器 传送皮带 不良晶粒 滚轴电机 不良品收集盒 安装支架 从动转轴 自动剔除 磁铁 半导体元器件 水平方向设置 本实用新型 端部连接 设备结构 生产装置 损失降低 调速器 联接 生产成本 剔除 | ||
【主权项】:
1.一种不良晶粒自动剔除设备,其特征在于:包括滚轴电机(8)和从动转轴(2),滚轴电机(8)和从动转轴(2)之间设有传送皮带(1),传送皮带(1)水平方向设置,滚轴电机(8)的端部连接有调速器(6),传送皮带(1)的上方设有一分离器(9),分离器(9)包括安装支架,安装支架的下方联接有磁铁(3),磁铁(3)大小与传送皮带(1)宽度相同,分离器(9)的下方设有一不良品收集盒(7),不良品收集盒(7)的位置与分离器(9)的位置相对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造