[实用新型]一种内平面研磨机有效
| 申请号： | 201821740709.5 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN209256646U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B47/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种内平面研磨机，包括安装座、以及设置在所述安装座上的安装板，在所述安装板上设有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过减速机与研磨主轴的一端连接，在所述研磨主轴的另一端设有用于研磨内平面的研磨盘，且所述研磨主轴和研磨盘可在驱动电机的带动下做自转运动；在所述安装座的中心开设有研磨主轴偏心量调节槽，安装座通过皮带或齿轮传动的方式被驱动旋转，形成研磨主轴整体部件的公转。本实用新型可在研磨时同时实现研磨主轴的自转和公转，研磨轨迹的重叠性大幅降低，从而能有效维持研磨盘的平面度，进而保证工件的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 安装座 驱动电机 研磨盘 本实用新型 平面研磨机 安装板 平面度 偏心量调节 齿轮传动 驱动旋转 一端连接 整体部件 自转运动 减速机 平面的 输出端 重叠性 自转 皮带 保证 | ||
【主权项】：
1.一种内平面研磨机，包括安装座(1)、以及设置在所述安装座(1)上的安装板(2)，在所述安装板(2)上设有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出端通过减速机(4)与研磨主轴(5)的一端连接，在所述研磨主轴(5)的另一端设有用于研磨内平面的研磨盘(6)，且所述研磨主轴(5)和研磨盘(6)可在驱动电机(3)的带动下做自转运动；其特征在于：在所述安装座(1)的中心开设有研磨主轴偏心量调节槽(11)，研磨主轴(5)的底端穿过研磨主轴偏心量调节槽(11)与研磨盘(6)连接，安装座(1)通过皮带或齿轮传动的方式被驱动旋转，形成研磨主轴整体部件的公转。
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