[实用新型]一种用于金刚线切割硅片的清洗制绒槽

摘要

本实用新型公开了一种用于金刚线切割硅片的清洗制绒槽，涉及硅片制绒装置技术领域。本实用新型包括槽体本体，槽体本体一相对侧面均固定有第一矩形支撑板；两第一矩形支撑板上表面均固定有一同步伸缩件；两同步伸缩件伸缩杆端部通过螺母固定有举升导槽组件；举升导槽组件上滑动配合有花篮；槽体本体一侧面固定有气泵；槽体本体内底面固定有E形导气管；E形导气管周侧面贯穿固定有一进气管。本实用新型通过设计的槽体本体、举升导槽组件、花篮、同步伸缩件、气泵、S形冷水盘管和E形导气管的组合在低温条件下对硅板表面均布进行腐蚀制绒，同时方便花篮在制绒槽内的操作，解决了现有装置不适宜金刚线切割硅片制绒和操作不便的问题。

主权项

1.一种用于金刚线切割硅片的清洗制绒槽，包括槽体本体(1)，其特征在于：所述槽体本体(1)一相对侧面均固定有第一矩形支撑板(101)；两所述第一矩形支撑板(101)上表面均固定有一同步伸缩件(4)；两所述同步伸缩件(4)伸缩杆端部通过螺母固定有举升导槽组件(2)；所述举升导槽组件(2)上滑动配合有花篮(3)；所述槽体本体(1)一侧面固定有气泵(5)；所述槽体本体(1)内底面固定有E形导气管(7)；所述E形导气管(7)周侧面贯穿固定有一进气管(701)；所述进气管(701)另一端贯穿槽体本体(1)一侧壁与气泵(5)出气口连通；所述E形导气管(7)周侧面螺纹连接有若干爆气头(9)；所述槽体本体(1)内部设有S形冷水盘管(6)；所述S形冷水盘管(6)上的S形冷水盘管进水口(601)端贯穿槽体本体(1)一内壁至槽体本体(1)外侧；所述S形冷水盘管(6)上的S形冷水盘管出水口(602)端贯穿槽体本体(1)一内壁至槽体本体(1)外侧；所述槽体本体(1)内底面固定有两支撑块(8)；所述支撑块(8)上表面开有若干半圆槽(801)；所述半圆槽(801)与S形冷水盘管(6)周侧面配合。