[实用新型]真空密封传动的真空室离子束修形加工装置有效
| 申请号： | 201821753737.0 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN208796950U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长沙埃福思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 杨斌 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市长沙县*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，包括真空室，还包括离子源运动机构，离子源运动机构包括设置于真空室外的驱动电机以及与驱动电机的驱动轴连接且设置于真空室内的传动组件，传动组件与驱动电机在真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接，传动组件与离子源连接。本实用新型由于在真空壁上采用密封传动部件传动，可以使用普通电机代替真空电机，降低了电机成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 传动组件 驱动电机 离子源 传动 离子束修形加工 本实用新型 运动机构 真空密封 密封传动部件 传动连接 电机成本 密封传动 真空电机 驱动轴 真空壁 电机 室外 室内 | ||
【主权项】：
1.一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，包括真空室，其特征在于，还包括离子源运动机构(8)，所述离子源运动机构(8)包括设置于所述真空室外的驱动电机以及与所述驱动电机的驱动轴连接且设置于所述真空室内的传动组件，所述传动组件与所述驱动电机在所述真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接，所述传动组件与离子源(5)连接。
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