[实用新型]一种CMP抛光设备用抛光载物台有效
| 申请号： | 201821756908.5 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN208895833U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 方明喜;肖学才;常强 | 申请（专利权）人： | 爱利彼半导体设备（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台，所述载物台的上表面设置有第一吸盘，第一吸盘的外部环绕设置有第二吸盘，所述第二吸盘的外部环绕设置有第三吸盘，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的下端均固定载物台的上表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的内壁处设置有吸盘壁空腔；该CMP抛光设备用抛光载物台，通过第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘分别通过连管与风机连接，增加吸盘与CMP板连接的吸附点，避免单个吸盘与CMP板之间出现接触不良，造成的CMP板固定松动，提高CMP板安装的稳定性，同时第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘的上端均采用V字形吸环，增加吸环与CMP板接触的面积，提高CMP板固定的牢靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 抛光设备 载物台 抛光 环绕设置 板固定 上表面 吸环 固定载物台 风机连接 接触不良 板安装 板接触 板连接 牢靠性 吸盘壁 上端 外部 空腔 连管 内壁 松动 吸附 下端 载物 | ||
【主权项】：
1.一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台(1)，其特征在于：所述载物台(1)的上表面设置有第一吸盘(2)，所述第一吸盘(2)的外部环绕设置有第二吸盘(3)，所述第二吸盘(3)的外部环绕设置有第三吸盘(4)，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的下端均固定载物台(1)的上表面，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的内壁处设置有吸盘壁空腔(11)，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的上端表面设置有吸环(5)，所述吸环(5)通过粘合分别固定在第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的上端表面，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)外侧均设置有支撑外套环(6)，所述支撑外套环(6)的下端通过焊接固定在载物台(1)的上表面。
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