[实用新型]一种薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201821760952.3 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN211555893U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏;黄俊华;袁健;刘佰全;罗东向 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/786 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢泳祥 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了一种薄膜晶体管，包括基板、栅极、绝缘层、有源层、源极和漏极，其中，所述薄膜晶体管中的有源层采用稳定性较好且Hall迁移率高的Nb‑In‑O材料制成的Nb‑In‑O薄膜，使得到的薄膜晶体管具有高稳定性和高Hall迁移率(30cm |
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| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
暂无信息
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