[实用新型]一种用于生产超纯砷烷的净化装置有效
| 申请号： | 201821793085.3 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN209411800U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈国富;龚施健;彭王生;郑亚平 | 申请（专利权）人： | 博纯材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01G28/00 | 分类号： | C01G28/00 |
| 代理公司： | 泉州市博一专利事务所(普通合伙) 35213 | 代理人： | 洪渊源;郑庭山 |
| 地址： | 362617 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种用于生产超纯砷烷的净化装置，包括填料柱、精馏筒体、筒节及热交换热，筒节侧壁上设有砷烷进气管，筒节顶端设有轻组分排出口，轻组分排出口与热交换器内的旁管进口连接，热交换器的旁管出口通过回流管连接至筒节内，精馏筒体外侧壁设有复数组电加热管，精馏筒体底部设有重组分排出口，精馏筒体顶部连接有抽真空管、气化管、净化气检测管及净化气导出管，净化气导出管上还并联一分支导管，该分支导管连接至筒节内。该净化装置，砷烷进入筒节内，砷烷中的轻组分从筒节顶端逸出进入热交换器进行热交换，砷烷及重组分通过填料柱吸附砷烷中的极性杂质分子，然后在精馏筒体内经过电加热管多次加热精馏，砷烷气体的净化纯度可达到99.9999%。 | ||
| 搜索关键词： | 砷烷 筒节 精馏筒体 净化装置 热交换器 净化气 热交换 电加热管 分支导管 导出管 排出口 填料柱 精馏 旁管 抽真空管 极性杂质 复数组 回流管 检测管 进气管 气化管 外侧壁 并联 侧壁 分排 吸附 逸出 加热 出口 体内 净化 生产 进口 | ||
【主权项】：
1.一种用于生产超纯砷烷的净化装置，包括填料柱、精馏筒体以及热交换器，所述填料柱连接在精馏筒体顶部，其特征在于：所述填料柱的顶端固定连接一个筒节，所述筒节侧壁上设有一个砷烷进气管，所述筒节顶端设有一个轻组分排出口，所述轻组分排出口与所述热交换器内的旁管进口连接，所述热交换器的旁管出口通过一回流管连接至所述筒节内，所述精馏筒体的外侧壁设有复数组电加热管，该精馏筒体的底部设有重组分排出口，所述精馏筒体的顶部分别连接有抽真空管、气化管、净化气检测管以及净化气导出管，所述净化气导出管上还并联有一个分支导管，该分支导管的末端连接至所述筒节内。
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