[实用新型]一种硅片花篮的自动清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片花篮的自动清洗装置，包括箱体、承载架、超声波发生器、控制箱、清洗液，所述箱体上设有取放花篮的敞口，所述承载架安装在所述箱体内，花篮置于所述承载架上，所述超声波发生器安装在所述箱体内，所述控制箱控制所述超声波发生器工作，所述箱体内装有所述清洗液，所述清洗液浸没所述超声波发生器、花篮。本实用新型利用超声波清洗原理，结合硅片花篮结构，设计适用于硅片花篮清洗的自动清洗装置，不用人工直接对花篮清洗，显著减少了人工清洗对花篮造成的损伤；超声波清洗效果良好，对于花篮的齿尖、齿根等部位，利用液体的流动性可无死角清洗，清洗洁净度高；一次可对多个花篮进行批量清洗，生产作业效率显著提高。

主权项

1.一种硅片花篮的自动清洗装置，其特征在于：包括箱体(1)、承载架(2)、超声波发生器(3)、控制箱(4)、清洗液(5)，所述箱体(1)上设有取放花篮的敞口(11)，所述承载架(2)安装在所述箱体(1)内，花篮置于所述承载架(2)上，所述超声波发生器(3)安装在所述箱体(1)内，所述控制箱(4)控制所述超声波发生器(3)工作，所述箱体(1)内装有所述清洗液(5)，所述清洗液(5)浸没所述超声波发生器(3)、花篮。