[实用新型]一种PCB板曝光胶片及使用该胶片进行曝光的PCB板有效
申请号: | 201821798874.6 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN209014904U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 张立琦 | 申请(专利权)人: | 昱鑫科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G03F1/42 | 分类号: | G03F1/42;H05K3/06 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 杨林洁 |
地址: | 215004 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种PCB板曝光胶片及使用该胶片进行曝光的PCB板,所述PCB板曝光胶片用于对贴附在PCB板表面的干膜层进行曝光,所述胶片上具有用于与所述PCB板进行对位的靶标,所述靶标包括阻断光线通过的环形遮挡部以及分别设于所述环形遮挡部内外两侧的内透光部及外透光部,所述环形遮挡部于周向上间隔设置有供光线透过且连接所述内、外透光部的连接部,通过供光线透过的所述连接部的设置,避免所述干膜层上与所述靶标对应的靶点经曝光显影后产生膜屑。 | ||
搜索关键词: | 曝光胶片 透光 靶标 胶片 遮挡 光线透过 干膜层 曝光 光线通过 间隔设置 曝光显影 靶点 对贴 对位 膜屑 | ||
【主权项】:
1.一种PCB板曝光胶片,用于对贴附在PCB板表面的干膜层进行曝光,其特征在于,所述胶片上具有用于与所述PCB板进行对位的靶标,所述靶标包括阻断光线通过的环形遮挡部以及分别设于所述环形遮挡部内外两侧的内透光部及外透光部,所述环形遮挡部于周向上间隔设置有若干供光线透过且连接所述内、外透光部的连接部。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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