[实用新型]一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体有效

专利信息
申请号: 201821801682.6 申请日: 2018-11-02
公开(公告)号: CN208767268U 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 魏杰;罗文滨 申请(专利权)人: 安徽宏实自动化装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 230001 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,包括循环下槽与制成上槽,所述循环下槽与制成上槽平行设置,所述制成上槽的侧面靠近上端位置设置有进水管,所述进水管的一端贯穿制成上槽连接有一号喷水管,所述一号喷水管的底端表面中间位置连接有一号抽水管,所述一号抽水管的另一端连接有循环泵,所述一号喷水管的一侧安装有二号喷水管,所述二号喷水管的底端表面中间位置连接有二号抽水管;本实用新型通过循环下槽以及引流板的设置,使得本实用新型能够多次对产品进行冲洗且实现循环用水,大大提高厂务供水使用率与降低生产成本,能够有效的防止各洁净水槽之间的洁净度受到干扰。本实用新型结构简单,实用方便。
搜索关键词: 喷水管 本实用新型 上槽 抽水管 下槽 表面中间位置 设备减少 湿式制程 进水管 连动槽 底端 水槽 平行设置 上端位置 循环用水 一端连接 洁净度 循环泵 引流板 使用率 冲洗 洁净 侧面 供水 贯穿
【主权项】:
1.一种湿式制程设备减少水耗用量的连动槽体,其特征在于,包括循环下槽(1)与制成上槽(2),所述循环下槽(1)与制成上槽(2)平行设置,所述制成上槽(2)的侧面靠近上端位置设置有进水管(3),所述进水管(3)的一端贯穿制成上槽(2)连接有一号喷水管(4),所述一号喷水管(4)的底端表面中间位置连接有一号抽水管(5),所述一号抽水管(5)的另一端连接有循环泵(6),所述一号喷水管(4)的一侧安装有二号喷水管(7),所述二号喷水管(7)的底端表面中间位置连接有二号抽水管(8),所述二号喷水管(7)的一侧安装有三号喷水管(9),所述三号喷水管(9)的底端表面中间位置连接有三号抽水管(10),所述三号喷水管(9)的一侧安装有化学试剂喷管(11),所述化学试剂喷管(11)的底端表面中间位置连接有化学试剂抽管(12),所述制成上槽(2)的内部均匀分布有三组隔板(13),贯穿所述三组隔板(13)及制成上槽(2)的内壁安装有产品输送带(14),所述制成上槽(2)远离进水管(3)的侧面安装有驱动电机(15),所述循环下槽(1)的内部依次设置有三号洁净水槽(16)、二号洁净水槽(17)、一号洁净水槽(18)及化学槽(19),且一号洁净水槽(18)的底部边角位置设置有排水管(20),所述三组隔板(13)的正下方均固定安装有三号液位挡片(21)、一号液位挡片(22)与二号液位挡片(23),贯穿所述隔板(13)的内部中间位置开设有通孔(24),所述隔板(13)的底端表面对称设置有两组引流板(25),所述二号喷水管(7)的底端表面安装有两组喷头(26)。
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