[实用新型]一种蒸镀腔及镀膜机有效
申请号: | 201821806428.5 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN209322996U | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 田保峡;闻益 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/06 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种蒸镀腔及镀膜机,所述蒸镀腔具备蒸镀腔本体,所述蒸镀腔本体包括底板以及与所述底板连接的左侧壁和右侧壁;所述左侧壁上设有至少一个左蒸发源,所述右侧壁上设有至少一个右蒸发源,所述左侧壁和所述右侧壁相对倾斜设置。在上述技术方案中,通过在侧壁上设置第一蒸发源,提高了蒸镀时的均匀性,进而提高蒸镀的效果。进而提高太阳能发电板的发电率以及成品率。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀腔 右侧壁 蒸发源 左侧壁 镀膜机 蒸镀 太阳能发电板 底板 本实用新型 底板连接 相对倾斜 成品率 均匀性 侧壁 发电 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀腔,所述蒸镀腔具备蒸镀腔本体,所述蒸镀腔本体包括底板以及与所述底板连接的左侧壁和右侧壁;其特征在于:所述左侧壁上设有至少一个左蒸发源,所述右侧壁上设有至少一个右蒸发源,所述左侧壁和所述右侧壁相对倾斜设置。
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