[实用新型]一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置有效
申请号: | 201821809590.2 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN209086171U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 高爱华;侯劲尧;刘卫国;秦文罡;韦瑶 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/958;G01N21/47;G01N21/01 |
代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 黄秦芳 |
地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置,该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成,所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头,所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件,反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本实用新型的测量装置克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。 | ||
搜索关键词: | 率测量 散射 本实用新型 表面散射光 激光陀螺 检测装置 高反镜 半导体激光器 背向散射 测量装置 高反射镜 光束切换 激光光束 检测激光 前向散射 显微镜头 依次设置 反射光 入射光 陀螺 前向 陷光 转筒 | ||
【主权项】:
1.一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置,其特征在于:由半导体激光器(1)、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器(7)构成,所述CCD成像系统包括CCD相机(3)和显微镜头(4),激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒(2)和背向积分散射率测量组件(5),反射光路上设置有前向积分散射率测量组件(6)。
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