[实用新型]超净层流系统及具有其的无尘室、手套箱和设备有效
| 申请号： | 201821810284.0 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209348273U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | T·布尔特曼;K·科赫 | 申请（专利权）人： | 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;E04H1/12;B25J21/02 |
| 代理公司： | 北京市路盛律师事务所 11326 | 代理人： | 马飞;吴召玲 |
| 地址： | 201201 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超净层流系统及具有其的无尘室、手套箱和设备，该系统包括具有排气口的超净腔室；布置于超净腔室上方并具有进气口的密封的气体混合室，其中气体混合室与超净腔室由超净腔室的顶板隔离；一个或多个洁净过滤器，其布置于超净腔室的顶板中的开口处，并使得超净腔室与气体混合室流体连通；布置于气体混合室中的第一和第二动力风机，其中第一和第二动力风机设置成产生动力以驱动气流通过洁净过滤器流入超净腔室；均流膜，其在超净腔室中布置于超净腔室的顶板下方，并设置成使得流入超净腔室的气流形成为层流，从而在超净腔室中产生均匀的单向循环气流。本实用新型解决了现有超净间技术存在的气流死角、振动、噪音、温控精细度不足等多重问题。 | ||
| 搜索关键词： | 腔室 气体混合室 洁净过滤器 层流系统 动力风机 手套箱 无尘室 进气口 本实用新型 单向循环 流体连通 气流死角 气流形成 驱动气流 精细度 开口处 排气口 层流 均流 温控 密封 噪音 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种超净层流系统，其特征在于，包括：超净腔室(200)，其具有排出气体的排气口(204)；布置于超净腔室(200)上方的密封的气体混合室(300)，其具有输入气体的进气口(305)，其中气体混合室(300)与超净腔室(200)由超净腔室的顶板隔离；一个或多个洁净过滤器(304a，304b，304c)，其布置于超净腔室(200)的顶板中的开口处，并使得超净腔室(200)与气体混合室(300)流体连通；布置于气体混合室(300)中的第一动力风机(301)和第二动力风机(302)，其中第一动力风机(301)和第二动力风机(302)设置成产生动力以驱动气流通过洁净过滤器(304a，304b，304c)流入超净腔室(200)；均流膜(201)，其在超净腔室(200)中布置于超净腔室的顶板下方，并设置成使得流入超净腔室(200)的气流形成为层流，从而在超净腔室(200)中产生均匀的单向循环气流。
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