[实用新型]一种基于波前传感器的紫外波前测试设备有效
| 申请号： | 201821811146.4 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209311051U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张斌;有佳鑫 | 申请（专利权）人： | 南京智茂生命科学仪器研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，包括激光器和波前传感器，所述激光器发出光经过测试光路后到达波前传感器，测试光路中，激光器发出光依次通过旋转毛玻璃、空间滤波器、准直镜I以45度照射到分束镜I上，分束镜I对一部分激光进行90度反射后以45度照射到分束镜II上，分束镜II对照射的一部分激光进行90度反射，反射的激光通过扩束镜I后由标准反射镜180度反射，被标准反射镜反射的激光通过扩束镜I后再次照射到分束镜II上，其中一部分光透过分束镜II后再通过扩束镜II照射到波前传感器上。与传统激光干涉仪相比，本实用新型测试设备采用波前传感器进行测量，提高了系统测试的动态范围和测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 波前传感器 分束镜 反射 照射 测试设备 激光器 扩束镜 激光 本实用新型 标准反射镜 测试光路 测量 空间滤波器 旋转毛玻璃 传统激光 系统测试 干涉仪 光透过 准直镜 | ||
【主权项】：
1.一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，其特征在于：包括激光器和波前传感器，所述激光器发出光经过测试光路后到达波前传感器，测试光路中，激光器发出光依次通过旋转毛玻璃、空间滤波器、准直镜I以45度照射到分束镜I上，分束镜I对一部分激光进行90度反射后以45度照射到分束镜II上，分束镜II对照射的一部分激光进行90度反射，反射的激光通过扩束镜I后由反射镜180度反射，被反射镜反射的激光通过扩束镜I后再次照射到分束镜II上，其中一部分光透过分束镜II后再通过扩束镜II照射到波前传感器上。
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